纳秒激光与水射流耦合加工实验研究

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中文摘要：采用了纳秒激光与水射流耦合加工技术,使用不同的激光特性参数及水射流参数对304不锈钢、碳化硅、硅晶圆进行划槽实验,都获得了较好的加工质量,验证了纳秒激光与水射流耦合能束蚀除材料的优越性.

外文标题：Experimental Study of Water-jet Guided Nanosecond Laser Processing

作者：

李靖怡、王扬、程柏、李元、杨立军

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作者单位：

哈尔滨工业大学机电工程学院,黑龙江哈尔滨 150001

哈尔滨工业大学,微系统与微结构制造教育部重点实验室,黑龙江哈尔滨 150001

关键词：

激光与水射流耦合加工纳秒激光划槽

基金：

国家重点研发计划

项目编号：

2018YFB1107600

出版年：

2020

电加工与模具

苏州电加工机床研究所中国机械工程学会特种加工分会

CSTPCD

影响因子：0.285

ISSN：1009-279X

年,卷(期)：2020.(z1)