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太赫兹腔体滤波器电化学加工技术研究

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提出了一种太赫兹腔体滤波器的制备方法,即通过微细电解线切割技术制作出镍牺牲芯模,镍芯模表面电镀金后进行选择性溶解,最终得到太赫兹滤波器腔体.研究发现,当电流密度为0.5 A/dm2时,可获得最佳微缝处电镀金形貌,在镍蚀刻剂TFG溶液中进行超声辅助加热,48 h后镍芯模即可全部去除.采用这种方法,成功制作出了端面和内腔形貌良好的WR1.0太赫兹腔体滤波器,经矢量网络电性能测试,该器件传输和反射性能良好,有望大规模应用于太赫兹系统中.
Research on Electrochemical Machining Technology of Terahertz Cavity Filter

刘星、曾永彬、缪卓伟

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南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016

东南大学信息科学与工程学院,江苏南京210096

太赫兹滤波器 微细电解线切割 微缝电镀金

国家自然科学基金江苏省自然科学基金

51775276BK20192007

2021

电加工与模具
苏州电加工机床研究所 中国机械工程学会特种加工分会

电加工与模具

CSTPCD
影响因子：0.285
ISSN：1009-279X
年,卷(期)：2021.(6)
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