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基于UV-LIGA的太赫兹波导微矩形腔体加工技术研究

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提出了一种制作太赫兹矩形波导的方法,即先利用UV-LIGA技术制作出锌牺牲芯模,然后在锌芯模表面镀金、铸铜,最后将锌芯模溶解,成功制作出端面形貌良好的长度17 mm、工作频率1 THz的矩形波导.研究发现,在电镀液pH 6.2、温度40℃、电流密度0.3 A/dm2条件下,电镀金的表面形貌最好.利用工业CT观察波导腔体的溶解情况,发现在水浴温度70℃的2mol/L盐酸溶液下,溶解4天后锌芯模即可全部去除.
Research on Processing Technology of Terahertz Waveguide Micro-rectangular Cavity Based on UV-LIGA

程浩、曾永彬

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南京航空航天大学机电学院,江苏南京210016

太赫兹矩形波导 UV-LIGA技术 锌表面镀金

国家自然科学基金资助项目江苏省自然科学基金资助项目

51775276BK20192007

2021

电加工与模具
苏州电加工机床研究所 中国机械工程学会特种加工分会

电加工与模具

CSTPCD
影响因子：0.285
ISSN：1009-279X
年,卷(期)：2021.(z1)
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