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无掩模定域性电沉积微镍柱成形过程研究

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为探究无掩模定域性电沉积微镍柱的成形过程,通过控制沉积时间利用体视显微镜观测微镍柱的形貌及尺寸,并采用Comsol软件研究不同沉积阶段下的阴极电流密度分布,验证了微镍柱的生长成形过程及其定域性.结果表明:电沉积成形微镍柱的过程主要分为表面基点、中间柱体和尖端生长3个部分.
Research on the Forming Process of Maskless Localized Electrodeposition of Micro Nickel Column

刘涛、贾卫平、吴蒙华、刘赛赛、肖雨晴

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大连大学机械工程学院,辽宁大连116622

无掩模 定域性 电沉积 尖端效应

51875071

2022

电加工与模具
苏州电加工机床研究所 中国机械工程学会特种加工分会

电加工与模具

CSTPCD
影响因子：0.285
ISSN：1009-279X
年,卷(期)：2022.(4)
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