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薄基材过滤片飞秒激光精密加工

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利用飞秒激光非热熔性烧蚀的加工特性,以钛箔材质的过滤片零件为加工对象,研究了飞秒激光在钛箔材料微槽结构及外形加工方面的应用,并针对加工需求开发了易氧化薄基材的定位夹具和防氧化技术.试验中通过优化离焦量、加工速度和激光能量等参数,得到了过滤片边缘形貌和底部形貌受激光能量密度的影响规律,最终实现了过滤片零件的精密加工,为薄基材易氧化材料微槽结构零件的加工提供了新思路.
Precision Machining of Thin Substrate Filter by Femtosecond Laser

武胜勇、麻剑平、孙慧丽、张志伟、刘国梁

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北京控制工程研究所,北京 100190

飞秒激光 扫描振镜法 微槽结构 钛箔

2022

电加工与模具
苏州电加工机床研究所 中国机械工程学会特种加工分会

电加工与模具

CSTPCD
影响因子：0.285
ISSN：1009-279X
年,卷(期)：2022.(z1)
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