为探究266 nm紫外纳秒激光在氧化铝陶瓷表面加工微孔的工艺规律,通过单因素试验法和正交试验法,开展了不同激光参数对孔深、孔径及深径比的工艺试验研究.结果表明:随着激光能量增大,孔深和孔径逐渐增大、深径比逐渐减小,孔深在增长过程中存在阶段性饱和;随着脉冲数量增加,孔深和深径比逐渐增大、孔径逐渐减小;随着离焦量的绝对值增大,孔径逐渐增大、孔深和深径比减少.通过正交试验优化了工艺参数,在激光能量 0.093 mJ、脉冲数量 1 800个、离焦量0mm时,可在氧化铝陶瓷表面加工出深径比超过 15 的微孔,这为提高纳秒激光加工氧化铝陶瓷微孔的加工质量提供了参考.
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