大科技2018，Issue(32) ：324.

Color Filter Rework设备处理流程及工艺优化

钟义顺
大科技2018，Issue(32) ：324.
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Color Filter Rework设备处理流程及工艺优化

钟义顺1
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作者信息

  • 1. 南京中电熊猫液晶材料科技有限公司 江苏南京 210033
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摘要

Color Filter是TFT_LCD的重要组成部分,也是其性能参数的重要决定因数.Rework生产线是彩色过滤片(简称CF)各段制程产生的不良基板回收处理设备.本文简单介绍了CF结构及不同线体制程发生的NG Glass基板,回收至Rework设备时,对应的Rework处理流程(Etch(蚀刻)处理流程、Strip(剥离)处理流程)及工艺.

关键词

Rework/Glass基板/Strip

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出版年

2018
大科技
海南省科学技术信息研究所

大科技

影响因子：0.172
ISSN：1004-7344
参考文献量1
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