大科技2018，Issue(32) ：325.

浅谈光掩模版设计与制作

王小霞 甄娟
大科技2018，Issue(32) ：325.
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浅谈光掩模版设计与制作

王小霞 1甄娟1
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  • 1. 南京中电熊猫液晶材料科技有限公司
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摘要

光掩模版(简称Mask)是TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器,Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display)显示屏技术常用的光刻工艺所使用的图形母版.本文介绍了液晶显示屏中TFT-Array(阵列)侧基板和CF(彩色滤光片,color filter)侧基板的Mask的概念、Mask版图设计与制作相关基本内容.

关键词

Mask版/Mask版图设计/制版工艺

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出版年

2018
大科技
海南省科学技术信息研究所

大科技

影响因子：0.172
ISSN：1004-7344
参考文献量2
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