大科技2019，Issue(28) ：181.

直拉硅单晶炉中异型加热器的应用分析

唐凯
大科技2019，Issue(28) ：181.
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直拉硅单晶炉中异型加热器的应用分析

唐凯1
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  • 1. 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
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摘要

传统直拉硅单晶炉采用普通加热器支持运作,随着时代发展,普通加热器对应的固液界面温度梯度无法满足需求,故提出采用异型加热器代替普通加热器.但采用异型加热器其应力增大,本文分析直拉硅单晶炉中异型加热器的应用,通过试验对比,发现采用一加热器后,功率显著降低,拉晶速度突出,设备运行稳定,整体效益理想.

关键词

直拉硅单晶炉/异型/加热器/设备

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出版年

2019
大科技
海南省科学技术信息研究所

大科技

影响因子：0.172
ISSN：1004-7344
参考文献量2
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