核电主泵氮化硅环金刚石涂层改性工艺及性能研究

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中文摘要：针对核电主泵机械密封泄漏量参数异常的问题,本文提出对氮化硅密封环进行金刚石涂层表面改性的技术方案,以改善氮化硅环表面的力学性能及耐磨性能.本文采用热丝化学气相沉积法在氮化硅表面沉积纳米晶金刚石涂层,并通过SEM、XRD、Raman等分析测试方法分析了纳米晶金刚石涂层的表面形貌、晶粒尺寸及成分组成情况.同时,还对涂层的硬度和涂层与基体之间的膜基结合力进行了测试,并探究了沉积气氛中甲烷浓度对涂层性能的影响规律,揭示了影响涂层性能的关键因素,构建了涂层微观结构与宏观性能之间的关联.

作者：

朱小波、李国猛、吴优

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作者单位：

苏州热工研究院有限公司、国家核电厂安全及可靠性工程技术研究中心

关键词：

核电主泵金刚石涂层氮化硅表面改性机械密封

出版年：

2024

电力设备管理

ISSN：

年,卷(期)：2024.(1)

参考文献量2