核电主泵氮化硅环金刚石涂层改性工艺及性能研究

朱小波 ¹李国猛 ¹吴优¹

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作者信息

1. 苏州热工研究院有限公司、国家核电厂安全及可靠性工程技术研究中心
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摘要

针对核电主泵机械密封泄漏量参数异常的问题,本文提出对氮化硅密封环进行金刚石涂层表面改性的技术方案,以改善氮化硅环表面的力学性能及耐磨性能.本文采用热丝化学气相沉积法在氮化硅表面沉积纳米晶金刚石涂层,并通过SEM、XRD、Raman等分析测试方法分析了纳米晶金刚石涂层的表面形貌、晶粒尺寸及成分组成情况.同时,还对涂层的硬度和涂层与基体之间的膜基结合力进行了测试,并探究了沉积气氛中甲烷浓度对涂层性能的影响规律,揭示了影响涂层性能的关键因素,构建了涂层微观结构与宏观性能之间的关联.

关键词

核电主泵/金刚石涂层/氮化硅/表面改性/机械密封

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出版年

2024

电力设备管理

ISSN：

参考文献量2

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