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用于PVD电源的新型三相LCC变换器
用于PVD电源的新型三相LCC变换器
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万方数据
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中文摘要：
PVD直流等离子体电源在电源领域属于特种应用产品,广泛应用于集成电路制造中的金属及非金属材料溅射镀膜.针对集成电路制造产业中对PVD直流等离子体电源的应用需求,本文提出一种用于PVD电源的新型三相LCC变换器.
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作者：
王欣、乐卫平、刘涛、张香港、马泽鹤
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作者单位：
深圳市恒运昌真空技术有限公司
关键词：
LCC变换器
PVD直流电源
第三代半导体
限流保护
出版年：
2024
电力设备管理
电力设备管理
ISSN：
年,卷(期)：
2024.
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