电力设备管理2024，Issue(1) ：294-296.

用于PVD电源的新型三相LCC变换器

王欣 乐卫平 刘涛 张香港 马泽鹤
电力设备管理2024，Issue(1) ：294-296.
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用于PVD电源的新型三相LCC变换器

王欣 1乐卫平 1刘涛 1张香港 1马泽鹤1
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  • 1. 深圳市恒运昌真空技术有限公司
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摘要

PVD直流等离子体电源在电源领域属于特种应用产品,广泛应用于集成电路制造中的金属及非金属材料溅射镀膜.针对集成电路制造产业中对PVD直流等离子体电源的应用需求,本文提出一种用于PVD电源的新型三相LCC变换器.

关键词

LCC变换器/PVD直流电源/第三代半导体/限流保护

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出版年

2024
电力设备管理

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