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可编程逻辑控制器在半导体洁净厂房控制中的应用分析
可编程逻辑控制器在半导体洁净厂房控制中的应用分析
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中文摘要：
本文简要分析了洁净厂房在半导体生产中的作用,重点强调了可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller,PLC)在半导体洁净厂房控制中的应用设计,并以加强PLC在半导体洁净厂房控制中的应用措施作为切入点,对设计与实施定制化PLC系统、引入智能控制策略、采用可靠的通信协议以及建立实时监控系统等方面进行了研究,以期为相关人员提供参考.
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作者：
谢海杨
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作者单位：
上海芃纳自动化有限公司
关键词：
PLC
半导体
应用
控制
出版年：
2024
消费电子
中国电子商会
消费电子
影响因子：
0.076
ISSN：
1674-7712
年,卷(期)：
2024.
(11)
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