低温与特气2024，Vol.42Issue(1) ：5-11.DOI:10.3969/j.issn.1007-7804.2024.01.002

电子级六氟丙烷的制备及纯化研究进展

Research Progress in the Preparation and Purification of Electronic Grade Hexafluoropropane

黄正奇 郑晨明 黄军 徐庆松 李春胜 汪晗 白占旗
低温与特气2024，Vol.42Issue(1) ：5-11.DOI:10.3969/j.issn.1007-7804.2024.01.002
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电子级六氟丙烷的制备及纯化研究进展

Research Progress in the Preparation and Purification of Electronic Grade Hexafluoropropane

黄正奇 1郑晨明 1黄军 1徐庆松 1李春胜 1汪晗 1白占旗1
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作者信息

  • 1. 衢州杭氧特种气体有限公司,浙江 衢州 324012
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摘要

近年来电子级六氟丙烷以其优越的安全性、高效的刻蚀速率、良好的选择性,成为了新一代等离子体刻蚀气体.对六氟丙烷HFC-236fa及其同分异构体HFC-236ea进行了概述,并介绍其制备方法、工业级及电子级纯化方法的研究进展.

Abstract

In recent years,electronic grade hexafluoropropane has become a new generation of plasma etching gas due to its superior safety,efficient etching rate,and good selectivity.This article provides an overview of HFC-236fa and its isomer HFC-236ea,and introduces the research progress about preparation methods of hexafluoropropane,purification methods for industrial grade and electronic grade hexafluoropropane.

关键词

六氟丙烷/制备/分离提纯/电子级/同分异构体/HFC-236fa/HFC-236ea

Key words

hexafluoropropane/preparation/separation and purification/electronic grade/isomer/HFC-236fa/HFC-236ea

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出版年

2024
低温与特气
光明化工研究设计院

低温与特气

影响因子：0.232
ISSN：1007-7804
参考文献量27
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