低温与特气2024,Vol.42Issue(1) :47-50.DOI:10.3969/j.issn.1007-7804.2024.01.011

等离子体发射检测器在检测高纯乙硼烷中杂质分析的应用

Application of Plasma Emission Detector in Determination of Impurities in High-purity Diborane

刘东旭 陈治宇 黎文宇
低温与特气2024,Vol.42Issue(1) :47-50.DOI:10.3969/j.issn.1007-7804.2024.01.011

等离子体发射检测器在检测高纯乙硼烷中杂质分析的应用

Application of Plasma Emission Detector in Determination of Impurities in High-purity Diborane

刘东旭 1陈治宇 2黎文宇2
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作者信息

  • 1. 北方特气有限公司,河北 保定 071026
  • 2. 北京市华宇博泰科技发展有限公司,北京 101102
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摘要

采用配置了等离子发射检测器的MultiDetek2 气相色谱仪对高纯乙硼烷中的气体杂质进行了检测,结果显示该方案能够有效的分离出B2 H6 中的各种气体杂质,并且每种杂质在检测器上都有良好的响应.因此认为该方案能够在高纯B2 H6 中气体杂质分析应用方面起到重大的作用.

Abstract

Tracing gas impurities in high-purity diborane by MultiDetek2 GC equipped with a plasma emission detector.The results show that this scheme can effectively separate various gas impurities in diborane,and each impurity has a good response on this detector.Therefore,we believe that this scheme can play a significant role in the application of gas impuri-ty analysis in high-purity diborane.

关键词

等离子发射检测器/气相色谱/高纯乙硼烷

Key words

plasma emission detector/gas chromatography/high-purity diborane

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出版年

2024
低温与特气
光明化工研究设计院

低温与特气

影响因子:0.232
ISSN:1007-7804
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