氢气中微量与痕量硅烷的色谱法检测

Determination of Trace and Trace Silane in Hydrogen by Chromatography

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中文摘要：描述了使用氦离子化气相色谱仪分析氢气中微量及痕量硅烷的原理及方法,统计了该方法的精密度与准确度,对分析结果进行验证并探讨了影响因素.

外文摘要：The principle and method for the analysis of trace and trace silane in hydrogen by helium ionized gas chromato-graph are described.The precision and accuracy of the method are calculated.The analysis results were verified and the in-fluencing factors were discussed.

外文关键词：

silanehelium iongas chromatography

作者：

耿全荣、姜硕、韩维炜、牛云华、刘亚军、梅世尧、罗永强

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作者单位：

乐山协鑫新能源科技有限公司,四川乐山 614800

江苏中能硅业科技发展有限公司,江苏徐州 221122

关键词：

硅烷氦离子气相色谱

基金：

乐山市科技计划(2022)乐山协鑫新能源科技有限公司研发项目

项目编号：

22ZDYJ0120研发[2022]-01号

出版年：

2024

DOI：

10.3969/j.issn.1007-7804.2024.03.012

低温与特气

光明化工研究设计院

低温与特气

影响因子：0.232

ISSN：1007-7804

年,卷(期)：2024.42(3)