氢气中微量与痕量硅烷的色谱法检测
Determination of Trace and Trace Silane in Hydrogen by Chromatography
耿全荣 1姜硕 1韩维炜 2牛云华 1刘亚军 1梅世尧 1罗永强1
作者信息
- 1. 乐山协鑫新能源科技有限公司,四川 乐山 614800
- 2. 江苏中能硅业科技发展有限公司,江苏 徐州 221122
- 折叠
摘要
描述了使用氦离子化气相色谱仪分析氢气中微量及痕量硅烷的原理及方法,统计了该方法的精密度与准确度,对分析结果进行验证并探讨了影响因素.
Abstract
The principle and method for the analysis of trace and trace silane in hydrogen by helium ionized gas chromato-graph are described.The precision and accuracy of the method are calculated.The analysis results were verified and the in-fluencing factors were discussed.
关键词
硅烷/氦离子/气相色谱Key words
silane/helium ion/gas chromatography引用本文复制引用
基金项目
乐山市科技计划(2022)(22ZDYJ0120)
乐山协鑫新能源科技有限公司研发项目(研发[2022]-01号)
出版年
2024
NETL
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