低温与特气2024，Vol.42Issue(4) ：49-51.DOI:10.3969/j.issn.1007-7804.2024.04.011

气相色谱法测定高纯六氟化钼中的微量杂质

Determination of Trace Impurities in High Purity Molybdenum Hexafluoride by Gas Chromatography

倪珊珊 申永明 吕舜 解晓虎 刘志阳 李冰
低温与特气2024，Vol.42Issue(4) ：49-51.DOI:10.3969/j.issn.1007-7804.2024.04.011
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气相色谱法测定高纯六氟化钼中的微量杂质

Determination of Trace Impurities in High Purity Molybdenum Hexafluoride by Gas Chromatography

倪珊珊 1申永明 1吕舜 1解晓虎 1刘志阳 1李冰1
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作者信息

  • 1. 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司,河北邯郸 057550
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摘要

提出了一种六氟化钼中微量气体杂质的分析方法,采用配备反吹气路的氦离子化检测器的气相色谱仪实现了高纯六氟化钼中微量H2,N2,02,CH4,CO,CF4,CO2,N2O和SF6的分离检测.

Abstract

A method is pulsed to analyze trace gaseous impurities in molybdenum hexafluoride.By using discharged helium ionization detector gas chromatography equipped with blowback gas path,we achieve the separation and analysis of trace H2,N2,O2,CH4 CO,CF4,CO2,N2O and SF6 in molybdenum hexafluoride.

关键词

六氟化钼/气相色谱/氦离子化检测器/反吹

Key words

molybdenum hexafluoride/gas chromatography/discharged helium ionization detector/blowback

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出版年

2024
低温与特气
光明化工研究设计院

低温与特气

影响因子：0.232
ISSN：1007-7804
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