低温与特气2024,Vol.42Issue(6) :13.

一种电解法制备NF3工艺阳极中HF气体回收系统

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一种电解法制备NF3工艺阳极中HF气体回收系统

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出版年

2024
低温与特气
光明化工研究设计院

低温与特气

影响因子:0.232
ISSN:1007-7804
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