大学物理实验2024，Vol.37Issue(1) ：31-36.DOI:10.14139/j.cnki.cn22-1228.2024.01.007

双光源干涉法测量液态薄膜厚度

Research on the Technology of Liquid Film Thickness Measurement Based on Optical Interferometry

刘维慧 梁润泽 赵泉昕 卓朝博 苗永平
大学物理实验2024，Vol.37Issue(1) ：31-36.DOI:10.14139/j.cnki.cn22-1228.2024.01.007
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双光源干涉法测量液态薄膜厚度

Research on the Technology of Liquid Film Thickness Measurement Based on Optical Interferometry

刘维慧 1梁润泽 2赵泉昕 1卓朝博 1苗永平1
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作者信息

  • 1. 山东科技大学 电子信息工程学院,山东 青岛 266510
  • 2. 山东大学 晶体材料国家重点实验室新一代半导体材料研究院,山东 济南 250100
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摘要

要:以迈克尔逊干涉仪为核心设备搭建实验系统,提出双光源光学干涉条纹的调试方案,引入基于Python的图像处理技术,分析基准图样与调节图样的重合度判断调节边界,实现薄膜厚度的精确测量.以肥皂膜为样品进行了实验,结果表明该实验方案具有良好的可操作性和可重复性,较目视估算法提升了测量精度,为无损测量液态薄膜厚度提供了解决方案,也可引入大学物理实验课程,提升学生研究创新能力.

关键词

光学干涉法/液态薄膜/迈克尔逊干涉仪/图像处理

Key words

optical interferometry/liquid thin film/Michelson interferometer/image processing

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基金项目

山东省大学生创新创业训练计划(S202210424031)

出版年

2024
大学物理实验
吉林化工学院

大学物理实验

影响因子：0.764
ISSN：1007-2934
参考文献量17
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