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基于LCP柔性衬底的MEMSV型梁结构的设计制备与表征

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为探索在复杂环境应用中柔性衬底弯曲对V型梁结构力学特性的影响,提出了一种基于LCP柔性衬底弯曲条件下MEMS V型梁结构的力学分析方法,对柔性MEMS V型梁器件的弯曲特性从软件仿真和实验验证两个方面进行深入的研究.揭示了MEMS V型梁衬底发生弯曲后,对器件驱动性能的影响.实验结果表明,当柔性衬底弯曲曲率从0增大到33.3 m-1,V型梁热驱动器的驱动电流逐渐增大,测量值与仿真值的误差小于6.0％,与理论模型相符.
Design,Fabrication and Characterization of MEMS V-Beam Structure Based on LCP Flexible Substrate

吝晓楠、吴虹剑、田蕾、于洋、韩磊

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东南大学电子科学与工程学院,南京211189

东南大学MEMS教育部重点实验室,南京210096

MEMS 弯曲特性 柔性衬底弯曲 V型梁结构 力学特性

国家级大学生创新创业训练计划项目国家自然科学基金

20181028603461774032

2020

电子器件
东南大学

电子器件

CSTPCD北大核心
影响因子：0.569
ISSN：1005-9490
年,卷(期)：2020.43(1)
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