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基于电容式微加速度计的信号调理电路的设计与标定

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为了提高MENS微加速度计的各种性能,完成了基于电容式微加速度计的过载传感器信号调理电路的设计.设计了基于Model 1221电容式微加速度计的信号调理电路,通过静态和动态调试,在频率响应范围内的带内不平度≤±3 dB,超出频率响应范围的带外衰减≥30 dB/oct.最后通过传感器主动校准系统对传感器进行标定测试,测试结果显示:理论值与实际值的误差很小,系统的准确度很高,而且在±15 gn的测量范围内的输出电压满足(0.2±0.2)V～(4.8±0.2)V.
Design and Calibration of Signal Conditioning Circuit Based on Capacitive Micro-Accelerometer

周泉、李桂安

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三江学院电子信息工程学院,南京210012

东南大学电工电子实验中心,南京210096

微机电系统 电容式微加速度计 信号调理电路 调试 标定

2020

电子器件
东南大学

电子器件

CSTPCD北大核心
影响因子：0.569
ISSN：1005-9490
年,卷(期)：2020.43(2)
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