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基于BSO算法的SiO2沉积速率控制

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为了提高SiO2薄膜质量,将晶振膜厚控制仪用于沉积速率采集,采用闭环反馈控制电子枪灯丝两端电压,利用Ziegler-Nichols整定经验法确定PID参数范围,并通过天牛须搜索-粒子群算法(BSO)实现参数自整定,从而改变电子束束流大小,实现薄膜沉积速率的稳定控制;实验结果表明,在本控制系统下,沉积速率在4s左右建立稳态且波形无明显振荡,相比于遗传算法,BSO算法全局搜索能力更强,该方法可用于电子束蒸发镀膜过程中不同靶材沉积速率的控制,可进一步提高薄膜表面均匀性.
SiO2 Deposition Rate Control Based on Beetle Swarm Optimization Algorithm

王叶馨、沈景凤

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上海理工大学机械工程学院,上海200093

电子枪 沉积速率 天牛须搜索-粒子群算法(BSO) PID 遗传算法

2020

电子器件
东南大学

电子器件

CSTPCD北大核心
影响因子：0.569
ISSN：1005-9490
年,卷(期)：2020.43(3)
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