两种金刚石碳膜的制备及其场发射特性研究

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中文摘要：对相同的衬底进行不同的处理后,放入微薄等离子体腔中,在不同的条件下制备出纯平金刚石碳膜和球状金刚石聚晶颗粒碳膜.通过扫描电镜、拉曼光谱、X射线分析碳膜的形貌与结构,利用场发射二级结构研究两种金刚石碳膜的场发射性能.简单分析了不同碳膜的成因和场发射性能.

外文标题：Study on Field Enhancement Characteristics of Field Emission of Diamond Polycrystalline Carbon Films

作者：

高金海、张洁、李成刚、张兵临

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作者单位：

郑州师范学院物理与电子工程学院,河南郑州450044

郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,河南郑州450052

关键词：

微波等离子体化学气相沉积场致电子发射纯平金刚石碳膜球状金刚石聚晶颗粒碳膜

基金：

教育部科学技术重点项目2018年河南省科技厅科技攻关项目2018年河南省重点研发与推广专项项目2017年度河南省科技计划项目

项目编号：

205091182102210140182102210564172102210115

出版年：

2020

DOI：

电子器件

东南大学

CSTPCD北大核心

影响因子：0.569

ISSN：1005-9490

年,卷(期)：2020.43(4)