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镍基棱镜型高能X射线聚焦组合折射透镜的研制

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组合折射透镜是聚焦高能X射线(能量大于50keV)的主要聚焦元件,因此成为同步辐射聚焦技术的研究的前沿与热点.为实现优异的聚焦性能,透镜的优化设计是前提,优良的制备工艺是保证和关键.我们研制了一种棱镜型的高能X射线聚焦组合折射透镜,透镜整体由5280个齿状结构组合而成,最小的特征尺寸为10μm,口径为1.77 mm.利用LIGA技术,成功完成高度为500μm的镍基棱镜型高能X射线组合折射透镜的制备.为保证透镜良好尖角结构,在制备过程中采用电子束直写并且逐步加大掩膜版厚度的方法,先后制备了过渡掩膜版和LIGA掩膜版,保证了透镜良好的形貌,尖角略有钝化.在上海光源X射线成像及生物医学应用光束线(BL13W1)完成了透镜的在线测试,结果表明:该透镜将50 keV的X射线聚焦到7.7μm,增益为14倍.
Fabrication of Nickel Prism-Array Combined Refractive Lenses for High-Energy X-Ray Focusing

刘静、常广才、伊福廷、张伟伟

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中国科学院高能物理研究所,北京100049

X射线聚焦透镜 LIGA技术 棱镜型透镜 高能X射线

国家自然科学基金青年基金国家自然科学基金青年基金大装置联合基金

1160522611305202U1732120

2020

10.3969/j.issn.1005-9490.2020.04.003

电子器件
东南大学

电子器件

CSTPCD北大核心
影响因子：0.569
ISSN：1005-9490
年,卷(期)：2020.43(4)
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