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基于压电驱动的全固态可变焦微透镜结构设计与仿真研究

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传统的光学透镜通过音圈马达(VCM)驱动,焦距不可调且结构复杂、存在电磁干扰;当前研究的热点是液体微透镜,可通过改变微透镜表面的曲率半径实现变焦,但存在漏液、重力效应等问题.本文设计了一种基于压电驱动的固体可变焦微透镜,通过采用压电陶瓷-玻璃薄膜-压电陶瓷三层式结构的压电驱动器间接驱动柔性微透镜介质PDMS(聚二甲基硅氧烷)薄膜,使其产生相应的弯曲来达到调焦的目的,具有体积小、可变焦范围广、无漏液和重力效应、无电磁干扰等优势引起了人们的广泛关注.利用COMSOL仿真软件研究了不同压电驱动结构对微透镜性能的影响,确定了微透镜各组件的最佳结构参数,探讨了不同驱动电压下微透镜的形变量和焦距,为高可靠微透镜的设计提供了新颖的解决方案.
Structural Design and Simulation Research of All-Solid-State Zoom Microlens Based on Piezoelectric Driving

孙旭宇、李廷鱼、张文磊、郭丽芳、李刚、王开鹰、吴玉程

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太原理工大学信息与计算机学院,山西 晋中030600

可变焦透镜 聚二甲基硅氧烷 压电材料 COMSOL仿真

山西省应用基础研究计划项目

201901D111099

2020

10.3969/j.issn.1005-9490.2020.05.004

电子器件
东南大学

电子器件

CSTPCD北大核心
影响因子：0.569
ISSN：1005-9490
年,卷(期)：2020.43(5)
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