首页|基于电荷注入机制的驱动电压可重构的MEMS开关

基于电荷注入机制的驱动电压可重构的MEMS开关

扫码查看
原文链接
  • 国家科技期刊平台
  • NETL
  • NSTL
  • 万方数据
  • 维普
本文提出了一种新方法来解决传统静电驱动的电容式微机电(MEMS)开关的驱动电压过高的问题.通过对介质层预先注入和存储适量的电荷,在该介质层中形成稳定的内建电势,这将优化MEMS固支梁的下拉操作,从而有效降低MEMS开关的驱动电压.此外,在开关制备完成后,仍可通过调控介质层中注入电荷的数目来调节内建电势大小,从而在不改变MEMS开关结构参数的条件下实现MEMS开关驱动电压的可重构功能.建立了该新型MEMS开关的解析模型,对该新型模型进行分析,并验证了模型的正确性.
A Novel MEMS Switch with Reconfigurable Driving Voltage Based on the Charge Injection Mechanism

郑从兵、张鹏飞、王立峰、韩磊、张志强、黄晓东

展开 >

东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏 南京210096

MEMS开关 电荷注入 驱动电压 可重构

国家自然科学基金国家自然科学基金至善青年学者支持计划项目

61604039616040402242019R40030

2020

电子器件
东南大学

电子器件

CSTPCD北大核心
影响因子：0.569
ISSN：1005-9490
年,卷(期)：2020.43(6)
  • 1
  • 2