电子世界2021，Issue(2) ：120-124.

ADS产品磁控溅射法制备SD层的膜层黑点

王效坤 房伟华 刘飞 郭如旺 朴祥秀 刘祖宏
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ADS产品磁控溅射法制备SD层的膜层黑点

王效坤 1房伟华 1刘飞 1郭如旺 1朴祥秀 1刘祖宏1
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作者信息

  • 1. 合肥京东方光电科技有限公司
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出版年

2021
电子世界
中国电子学会 北京思得易咨询中心

电子世界

影响因子：0.238
ISSN：1003-0522
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