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ADS产品磁控溅射法制备SD层的膜层黑点

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王效坤、房伟华、刘飞、郭如旺、朴祥秀、刘祖宏

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合肥京东方光电科技有限公司

2021

电子世界
中国电子学会 北京思得易咨询中心

电子世界

影响因子：0.238
ISSN：1003-0522
年,卷(期)：2021.(2)