电子世界2021,Issue(3) :19-20.

静电吸附设备的高分子介电层研究

李有亮 周亮 奉洛阳
电子世界2021,Issue(3) :19-20.

静电吸附设备的高分子介电层研究

李有亮 1周亮 1奉洛阳1
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出版年

2021
电子世界
中国电子学会 北京思得易咨询中心

电子世界

影响因子:0.238
ISSN:1003-0522
被引量1
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