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静电吸附设备的高分子介电层研究

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李有亮、周亮、奉洛阳

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成都骏创科技有限公司

2021

电子世界
中国电子学会 北京思得易咨询中心

电子世界

影响因子：0.238
ISSN：1003-0522
年,卷(期)：2021.(3)
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