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Array 5 mask和4 mask工艺对LC Margin的影响

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叶宁、童超、王尖

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2021

电子世界
中国电子学会 北京思得易咨询中心

电子世界

影响因子:0.238
ISSN:1003-0522
年,卷(期):2021.(3)
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