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low-k介质的机械可靠性的研究进展
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作者：
王雪松、闫江、王艳蓉、张静、魏淑华
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作者单位：
北方工业大学
基金：
国家自然科学基金资助项目
北京市自然科学基金资助项目
北方工业大学科研启动基金
项目编号：
61874002
4182021
出版年：
2021
电子世界
中国电子学会 北京思得易咨询中心
电子世界
影响因子：
0.238
ISSN：
1003-0522
年,卷(期)：
2021.
(11)
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