首页|PECVD氮化硅薄膜钝化特性研究

PECVD氮化硅薄膜钝化特性研究

扫码查看
原文链接
  • NETL
  • NSTL
  • 万方数据
  • 维普

李倩

展开 >

英利能源(中国)有限公司

2021

电子世界
中国电子学会 北京思得易咨询中心

电子世界

影响因子：0.238
ISSN：1003-0522
年,卷(期)：2021.(14)
  • 2