电子世界2021，Issue(14) ：21-22.

PECVD氮化硅薄膜钝化特性研究

李倩
电子世界2021，Issue(14) ：21-22.
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PECVD氮化硅薄膜钝化特性研究

李倩1
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作者信息

  • 1. 英利能源(中国)有限公司
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出版年

2021
电子世界
中国电子学会 北京思得易咨询中心

电子世界

影响因子：0.238
ISSN：1003-0522
被引量2
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