首页|PECVD氮化硅薄膜制备工艺研究

PECVD氮化硅薄膜制备工艺研究

扫码查看
原文链接
  • NETL
  • NSTL
  • 万方数据
  • 维普

施秉旭

展开 >

德州职业技术学院

2019年度德州市市级研发计划山东省教育科学"十三五"规划2020年度课题

9512020QZC007

2021

电子世界
中国电子学会 北京思得易咨询中心

电子世界

影响因子：0.238
ISSN：1003-0522
年,卷(期)：2021.(14)