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Rubbing工艺微观缺陷检测与效率提升

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胡鹏、王晓峰、寇建龙、罗天月、刘凯祥、王文浩、尤雷、付正德、孙慧

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武汉京东方光电科技有限公司

2021

电子世界
中国电子学会 北京思得易咨询中心

电子世界

影响因子：0.238
ISSN：1003-0522
年,卷(期)：2021.(16)