电子世界2021，Issue(18) ：59-60.

JPV(结光电压)技术及其在硅基外延材料掺杂中的应用研究

屈敏 刘聪 任宇轩 张静 刘金彪
电子世界2021，Issue(18) ：59-60.
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JPV(结光电压)技术及其在硅基外延材料掺杂中的应用研究

屈敏 1刘聪 1任宇轩 1张静 1刘金彪2
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作者信息

  • 1. 北方工业大学
  • 2. 中国科学院微电子研究所
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出版年

2021
电子世界
中国电子学会 北京思得易咨询中心

电子世界

影响因子：0.238
ISSN：1003-0522
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