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JPV(结光电压)技术及其在硅基外延材料掺杂中的应用研究

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屈敏、刘聪、任宇轩、张静、刘金彪

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北方工业大学

中国科学院微电子研究所

2021

电子世界
中国电子学会 北京思得易咨询中心

电子世界

影响因子：0.238
ISSN：1003-0522
年,卷(期)：2021.(18)