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集成电路互连介质阻挡层进展研究

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王艳蓉、胡颖颖、张静

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北方工业大学信息学院

国家自然科学基金北京市自然科学基金北方工业大学科研启动基金

618740024182021

2021

电子世界
中国电子学会 北京思得易咨询中心

电子世界

影响因子：0.238
ISSN：1003-0522
年,卷(期)：2021.(20)
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