电子世界2021，Issue(20) ：77-80.

集成电路互连介质阻挡层进展研究

王艳蓉 胡颖颖 张静
电子世界2021，Issue(20) ：77-80.
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集成电路互连介质阻挡层进展研究

王艳蓉 1胡颖颖 1张静1
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作者信息

  • 1. 北方工业大学信息学院
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基金项目

国家自然科学基金(61874002)

北京市自然科学基金(4182021)

北方工业大学科研启动基金()

出版年

2021
电子世界
中国电子学会 北京思得易咨询中心

电子世界

影响因子：0.238
ISSN：1003-0522
被引量1
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