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控制图在识别TFT-GI层沉积过程波动中的应用

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党亮英、包远福、徐习亮、李素哲、王丹、蔡婷、王超

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北京京东方显示技术有限公司

2021

电子世界
中国电子学会 北京思得易咨询中心

电子世界

影响因子:0.238
ISSN:1003-0522
年,卷(期):2021.(22)