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24对棒多晶硅还原炉关键结构模拟分析

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通过利用Fluent软件的DO辐射模块对24对棒多晶硅还原炉进行了气-固仿真分析,对比了不同参数下的仿真分析云图.结果表明,随着硅棒直径的增加,还原炉内部温度逐渐增加,气体流动速度也明显提高,还原炉内部的辐射量明显增加;随着硅棒高度的增加,内部流场更加均匀,并且辐射量更加均匀,有利于炉内多晶硅的沉积,但过高的硅棒长度会形成温度死区,影响炉壁发射率,不利于多晶硅生产.

刘国刚、葛自豪、杨莽、石荣秋

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四川省宜宾普什驱动有限责任公司,四川宜宾 644007

四川轻化工大学机械工程学院,四川 自贡 643000

多晶硅还原炉 Fluent DO辐射模块 气-固仿真分析

四川省科技计划

2022YFG0075

2024

化学工程与装备
福建省化工研究所　福建省化工学会

化学工程与装备

影响因子：0.268
ISSN：1003-0735
年,卷(期)：2024.(4)
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