化学工程与装备2024，Issue(9) ：160-162.

高校化学气相沉积设备管理探讨

张晓欣
化学工程与装备2024，Issue(9) ：160-162.
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高校化学气相沉积设备管理探讨

张晓欣1
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作者信息

  • 1. 上海大学机电工程与自动化学院,上海 200444
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摘要

由于欧美发达国家对我国集成电路行业的制裁,培养微电子人才、研发芯片制造工艺便成为高校的重要使命.在研究化学气相沉积工艺特点、设备结构的同时,重点探讨了高校在管理该设备时的安全措施,目的在于提升高校微电子实验室的安全管理水平.对如何安全高效地去使用化学气相沉积设备,以及如何建立"健康、安全、环保"的高校实验室工作环境,提出了一些管理措施,可为行业同仁提供一些参考.

关键词

化学气相沉积/设备安全/管理措施

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出版年

2024
化学工程与装备
福建省化工研究所　福建省化工学会

化学工程与装备

影响因子：0.268
ISSN：1003-0735
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