高校化学气相沉积设备管理探讨

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中文摘要：由于欧美发达国家对我国集成电路行业的制裁,培养微电子人才、研发芯片制造工艺便成为高校的重要使命.在研究化学气相沉积工艺特点、设备结构的同时,重点探讨了高校在管理该设备时的安全措施,目的在于提升高校微电子实验室的安全管理水平.对如何安全高效地去使用化学气相沉积设备,以及如何建立"健康、安全、环保"的高校实验室工作环境,提出了一些管理措施,可为行业同仁提供一些参考.

作者：

张晓欣

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作者单位：

上海大学机电工程与自动化学院,上海 200444

关键词：

化学气相沉积设备安全管理措施

出版年：

2024

化学工程与装备

福建省化工研究所　福建省化工学会

化学工程与装备

影响因子：0.268

ISSN：1003-0735

年,卷(期)：2024.(9)