光刻工艺技术分析及实验教学管理

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中文摘要：围绕光刻工艺的技术特点,重点介绍了该工艺的实现流程,以及与光刻工艺相关的设备、原材料及重要参数,旨在用理论与实验相结合,使学生更容易理解该工艺每一个步骤的原理与作用.根据设备管理和实验教学经验,探讨了实验安全注意事项及实验室管理的一些措施,让学生在掌握先进集成电路制造工艺的同时,增强对实验教学的安全意识.

作者：

张晓欣、赵启林

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作者单位：

上海大学机电工程与自动化学院,上海 200444

摩尔精英集成电路产业发展(合肥)有限公司,安徽合肥 230088

关键词：

光刻光刻机实验教学工艺流程实验安全

出版年：

2024

化学工程与装备

福建省化工研究所　福建省化工学会

化学工程与装备

影响因子：0.268

ISSN：1003-0735

年,卷(期)：2024.(11)