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场发射扫描电子显微镜JSM-IT800(SHL)探测器和观察模式的设置

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型号为JSM-IT800(SHL)场发射扫描电子显微镜是日本电子株式会社(JEOL)所推出的扫描电镜.针对不同类型样品的表征需求,该电镜配置有多个探头和多种观察模式.如果熟练掌握这些探头与观察模式的选择与设置方式,能充分发挥该款电子显微镜的优势并能提高样品表征的质量.本文介绍了该款电子显微镜的4种观察模式,并针对不同类型的探头和观察模式,选取具有代表性的扫描电子显微镜图片进行对比,总结探头选择和观察模式的规律,供操作人员和初学者参考.
Selection of detectors and observation modes for field-emission SEM JSM-IT800(SHL)

Field-emission scanning microscopyJSM-IT800Observation modeDetector

王洁如、朱笑东

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浙江大学硅及先进半导体材料全国重点实验室,杭州 310007

场发射扫描电镜 JSM-IT800 观察模式 探测器

2023

10.3969/j.issn.1001-232x.2023.05.018

分析仪器
北京市北分仪器技术有限责任公司（北京分析仪器研究所） 中国仪器仪表行业协会

分析仪器

CSTPCD
影响因子：0.306
ISSN：1001-232X
年,卷(期)：2023.(5)
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