摘要
设计了一款基于飞秒激光直写的法布里-珀罗(Fabry-Perot,F-P)干涉型光纤传感器,实现了位移与外部应变双参数的测量,研究了该传感器的实现原理,并进行实验验证.首先用飞秒脉冲激光在标准单模光纤(single mode fiber,SMF)的纤芯的纵向上刻两道长度为48 μm的线,两线间的距离为105 μm,形成一个F-P谐振腔,将该结构的其中一端切平,与一个全反镜共同形成一个复合的干涉仪,从而构成位移传感器;再将切平的那一端打结,又可以进行应力的测量.实验结果表明,该结构在Dip1位置的位移灵敏度为-440.3 pm/μm,线性拟合系数为0.9903;该结构打结后,可以测得Dip2位置的应变灵敏度为1.2 pm/μt,线性拟合系数为0.992 4.传感器制作简单,成本低,结构微小,线性度良好,容易重复.该传感器在位移传感和应变传感领域中均具有一定的实用价值.
基金项目
湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划(2020)(T2020014)
NETL
NSTL
维普
万方数据