摘要
为研究超声复合激光蚀除机理,本文使用COMSOL软件对超声振动辅助激光烧蚀金属铝表面烧蚀过程进行仿真,对比研究了超声振动对激光蚀除机理和过程的影响.研究发现,激光烧蚀的开始阶段主要以高温汽化来去除材料.随着烧蚀时间的增加,蚀除方式主要转变为熔融物飞溅蚀除,这对烧蚀凹坑的形成起主要作用.并研究了不同频率下激光蚀除材料的速度,研究发现,引入超声振动后,蚀除速度降低了 26.2％-39.43％.
基金项目
天津市自然科学基金(19JCZDJC33200)
天津市自然科学基金(18JCQNJC05200)
天津市自然科学基金(18JCYBJC88900)
天津市教委科研计划项目(2018KJ116)
2021年天津市研究生科研创新项目(2021YJSS043)
NETL
NSTL
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万方数据