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超声振动辅助激光烧蚀铝表面形貌仿真分析

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为研究超声复合激光蚀除机理,本文使用COMSOL软件对超声振动辅助激光烧蚀金属铝表面烧蚀过程进行仿真,对比研究了超声振动对激光蚀除机理和过程的影响.研究发现,激光烧蚀的开始阶段主要以高温汽化来去除材料.随着烧蚀时间的增加,蚀除方式主要转变为熔融物飞溅蚀除,这对烧蚀凹坑的形成起主要作用.并研究了不同频率下激光蚀除材料的速度,研究发现,引入超声振动后,蚀除速度降低了 26.2％-39.43％.
Simulation of ultrasonic vibration-assisted laser ablation of alumi-num surface morphology

张明月、王岩、殷杰、董颖怀、李跃华、赵静楠

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天津科技大学机械工程学院,天津300222

天津市轻工与食品工程机械装备集成设计与在线监控重点实验室,天津300222

天津航天机电设备研究所,天津300301

激光烧蚀 COMSOL 超声振动 有限元仿真 表面形貌

天津市自然科学基金天津市自然科学基金天津市自然科学基金天津市教委科研计划项目2021年天津市研究生科研创新项目

19JCZDJC3320018JCQNJC0520018JCYBJC889002018KJ1162021YJSS043

2023

10.16136/j.joel.2023.03.0173

光电子·激光
天津理工大学 中国光学学会

光电子·激光

CSCD北大核心
影响因子：1.437
ISSN：1005-0086
年,卷(期)：2023.34(3)
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