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飞秒激光在6H-SiC表面诱导偏振依赖纳米结构特性研究

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激光诱导偏振依赖纳米结构是一种有效实现纳米图案化的技术,并且一直备受研究者的青睐.利用飞秒激光微加工技术,对6H-SiC晶体表面激光诱导偏振依赖纳米结构特性进行了研究.通过改变入射激光加工偏振态和延迟时间样品表面诱导产生了直径约为150 nm的球形纳米颗粒、椭圆形纳米颗粒和空间周期约为150 nm的高空间频率表面条纹结构.实验结果表明,入射激光偏振特性会直接影响诱导产生的微结构形貌,并且优先入射的飞秒激光对最终产生的表面微结构形貌有决定性作用.初步探讨了偏振依赖纳米结构形成的物理机制,表面等离激元(surface plasmon polariton,SPP)在表面微纳米结构的产生过程中扮演着重要角色,研究结果对激光诱导表面周期结构(laser-induced periodic surface structures,LIPSS)可控制备具有重要意义.
Study on the polarization-dependent properties of femtosecond laser-induced nanostructures on 6H-SiC crystal surface

physical opticsfemtosecond laserlaser micromachiningmicro-nano structuressurface plasmon polariton(SPP)

和万霖、秦彦军

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西安石油大学理学院,陕西西安 710065

新疆理工学院理学院,新疆阿克苏 843100

物理光学 飞秒激光 激光微加工 微纳结构 表面等离激元(SPP)

国家自然科学基金陕西省自然科学基础研究计划新疆维吾尔自治区自然科学基金

118471382019JQ-8132021D01B47

2023

10.16136/j.joel.2023.09.0455

光电子·激光
天津理工大学 中国光学学会

光电子·激光

CSCD北大核心
影响因子：1.437
ISSN：1005-0086
年,卷(期)：2023.34(9)
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