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质子交换铌酸锂波导的退火工艺
质子交换铌酸锂波导的退火工艺
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中文摘要:
介绍了质子交换铌酸锂波导的制作工艺,比较分析了不同切向、不同退火温度、不同退火时间下铌酸锂波导的特性.
外文标题:
Annealed Technology of Proton Exchange LiNbO3 Waveguide
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作者:
罗辉、戴基智、杨亚培、包洪涛、赵天卓、佟会
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作者单位:
电子科技大学光电信息学院,四川,成都,610054
关键词:
光波导
退火质子交换
铌酸锂光波导
出版年:
2006
光电子技术与信息
中国光学学会光电技术专业委员会 中国科学院安徽光学精密机械研究所
光电子技术与信息
ISSN:
1006-1231
年,卷(期):
2006.
19
(2)
被引量
1
参考文献量
5