激光位置检测中PSD的误差分析与实验研究

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中文摘要：通过实验研究了激光光束质量对PSD输出位置精度的影响.基于PSD工作原理分析并得出了背景光强与输出结果的关系,实验中采用与测量光源匹配的滤光片来消除背景光干扰,极大提高了PSD的测量精度.并通过双一次插值算法修正PSD的非线性误差,修正后结果表明B区测量误差显著减小,线性度和测量精度明显提高.

外文标题：The Error Analysis and Experimental Study on PSD Used in Laser Position Detection

作者：

朱明珠、陈培峰、周保玉、曾为

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作者单位：

华中科技大学激光技术与工程研究院,湖北,武汉,430074

关键词：

激光检测位置精度位置敏感探测器背景光非线性插值算法

出版年：

2006

光电子技术与信息

中国光学学会光电技术专业委员会　中国科学院安徽光学精密机械研究所

光电子技术与信息

ISSN：1006-1231

年,卷(期)：2006.19(3)

被引量5
参考文献量3