MEMS热激发红外脉冲光源

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中文摘要：设计制作了不同结构、不同图形尺寸的铂金薄膜热激发MEMS红外光源,并对其辐射性能作了测试比较.测试结果显示,发射光谱带在2～4μm范围内有比较强的辐射能量,调制频率在20～40 Hz之间有较好的调制度.这些特性已经符合多数红外传感器的要求.

外文标题：MEMS Thermal-induced Pulsed Infrared Light Sources

作者：

吴飞蝶、纪新明、王建业、周嘉、黄宜平、包宗明、鲍敏杭

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作者单位：

复旦大学微电子系,上海,200433

关键词：

红外光源发射率气体传感器辐射材料

出版年：

2006

光电子技术与信息

中国光学学会光电技术专业委员会　中国科学院安徽光学精密机械研究所

ISSN：1006-1231

年,卷(期)：2006.19(3)