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提高平面元件制造精度的方法
提高平面元件制造精度的方法
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中文摘要：
应用干涉测量技术对平面元件被加工表面与光胶垫板基准面之间的平行度进行测控,或者利用错胶的办法,以达到高平行度要求.根据光胶垫板加工零件过程中,零件第二面面形反弹规律,有效控制第二面面形,以达到高面形精度的要求.
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作者：
田军、史成浡、耿浩
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作者单位：
河南平原光电有限公司,河南 焦作,54001
关键词：
干涉测量
平面元件
面形
平行度
制造精度
出版年：
2021
国防制造技术
中国兵器工业集团第210研究所
国防制造技术
ISSN：
1674-5574
年,卷(期)：
2021.
(1)
被引量
2
参考文献量
2
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