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嵌入式静电驱动控制电源设计

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分析了静电驱动原理以及失效原因,针对静电驱动的特点设计了用于静电驱动的控制电源,该电源采用内嵌DAC的ADuC842系统作为控制芯片,与信号采集及反馈电路一同构成闭环控制系统,控制DC-DC变换器产生大范围的稳定电压.输出电压范围15~80 V,电压文波<800 mV.
Embedded Source Design for Electrostatic Actuator

杨会生

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中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033

静电驱动 ADuC842 DC-DC变换器

2011

光机电信息
中国光学学会

光机电信息

影响因子:0.254
ISSN:1007-1180
年,卷(期):2011.28(4)
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