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嵌入式静电驱动控制电源设计
嵌入式静电驱动控制电源设计
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中文摘要:
分析了静电驱动原理以及失效原因,针对静电驱动的特点设计了用于静电驱动的控制电源,该电源采用内嵌DAC的ADuC842系统作为控制芯片,与信号采集及反馈电路一同构成闭环控制系统,控制DC-DC变换器产生大范围的稳定电压.输出电压范围15~80 V,电压文波<800 mV.
外文标题:
Embedded Source Design for Electrostatic Actuator
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作者:
杨会生
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作者单位:
中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,吉林,长春,130033
关键词:
静电驱动
ADuC842
DC-DC变换器
出版年:
2011
DOI:
10.3788/OMEI20112804.0039
光机电信息
中国光学学会
光机电信息
影响因子:
0.254
ISSN:
1007-1180
年,卷(期):
2011.
28
(4)
参考文献量
4