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真空反应烧结大尺寸碳化硅反射镜

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利用高温真空烧结炉对凝胶注模(Gel-casting)成型的SiC素坯进行反应烧结(RB-SiC),可制备得到光学级别的碳化硅反射镜镜体.测试结果表明,镜体内部结构均匀致密,机械性能优异,烧结线收缩率<0.23%,直接抛光后的表面粗糙度RMS值优于3 nm,适用于空间大尺寸碳化硅反射镜的制备.
Reaction Sintering Technique of Large-scale Lightweight SiC

赵汝成

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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033

碳化硅 反应烧结 反射镜

2011

光机电信息
中国光学学会

光机电信息

影响因子:0.254
ISSN:1007-1180
年,卷(期):2011.28(6)
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