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真空反应烧结大尺寸碳化硅反射镜
真空反应烧结大尺寸碳化硅反射镜
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中文摘要:
利用高温真空烧结炉对凝胶注模(Gel-casting)成型的SiC素坯进行反应烧结(RB-SiC),可制备得到光学级别的碳化硅反射镜镜体.测试结果表明,镜体内部结构均匀致密,机械性能优异,烧结线收缩率<0.23%,直接抛光后的表面粗糙度RMS值优于3 nm,适用于空间大尺寸碳化硅反射镜的制备.
外文标题:
Reaction Sintering Technique of Large-scale Lightweight SiC
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作者:
赵汝成
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作者单位:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033
关键词:
碳化硅
反应烧结
反射镜
出版年:
2011
DOI:
10.3788/OMEI20112806.0019
光机电信息
中国光学学会
光机电信息
影响因子:
0.254
ISSN:
1007-1180
年,卷(期):
2011.
28
(6)
参考文献量
3