张立超
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033
极紫外 多层膜光栅 光栅槽形
国家自然科学基金国家科技重大专项项目
60678034
2011
10.3788/OMEI20112807.0016