张立超
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033
极紫外 多层膜光栅 衍射效率 宽带多层膜
国家自然科学基金
60678034
2011
10.3788/OMEI20112808:0005